Butyllactat: Eine neue Wahl für die Reinigung von Fotolacken
Im komplexen Prozess der Halbleiterherstellung ist die Reinigung des Fotolacks ein entscheidender Schritt, um die Qualität der Chips sicherzustellen. Selbst kleinste Restpartikel oder Metallionen auf der Oberfläche des Fotolacks können bei nachfolgenden Prozessen wie Lithografie und Ätzen erhebliche Probleme verursachen. Diese Verunreinigungen können die lichtempfindlichen Eigenschaften des … verändern.
Butyllactat: Eine neue Wahl für die Reinigung von Fotolacken Weiterlesen »