Lactate de butyle : un nouveau choix pour le nettoyage des résines photosensibles
Dans le processus complexe de fabrication des semi-conducteurs, le nettoyage des résines photosensibles est une étape cruciale pour garantir la qualité des puces. Même les plus petites particules résiduelles ou les ions métalliques présents à la surface de la résine photosensible peuvent entraîner des problèmes importants dans les processus ultérieurs tels que la lithographie et la gravure. Ces contaminants peuvent altérer les propriétés photosensibles de la résine photosensible.
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